SMC΢�F���x����;,SMC�Y(ji��)��(g��u)���|(zh��) 

����(j��)ͨ�^���F���x���������ɶ����S�ĉ��������x�����F���x����Ҏ(gu��)��

���x�����F���x�����������������Ƿ����Ԅ���ˮ��

ˮ�������x�����������ٱ������ٱ���߀���Ԏ�ҺλӋ��߀��������ˮ�ܵ���ʽ�ȡ�

�b��ǰ��Ҫ��ִ���������е���м���҉m������ֹ�ܷ������Ƭ������

�M���ڷ��򲻵��b����Ҫ��ֱ���b��ˮ��������

���ð��b�ڽӽ��Չ��C̎�������b���Ú��b�õĸ�����

������ˮ��ˮλ���ó��^��ˮ����

�VоҪ������ϴ����Q����ϴ�VоҪ��������ϴ����

��AFMǰ�摪���bAF�������AFM������

ʹ��������Ҫ���^�~����������t�����۵��͵Ε��������ĞVо������˺��������ڂ�(c��)�����ܳ�ְl(f��)�]���F���x����������

ʹ�É������� 0.05~1.0MPa
�h(hu��n)���ͽ��|(zh��)�ض�  -5~60�棨δ���Y(ji��)�r��
�^�V���� 0.01��m��ȥ��95%�w����
ݔ����(c��)�����۝�� 0.01mg/m^3(ANR)
�Vо���� 2��򉺽�����0.1MPa�r�����Q�Vо
���b�Ԅ���ˮ��ϵ�� AD27 AD37

SMC΢�F���x����;,SMC�Y(ji��)��(g��u)���|(zh��) 
SMC AFD΢�F���x����ȥ��0.01��m���ϵĚ�����z�����Ӽ�����0.01��m���ϵ�̼���͉m����
SMC AFD΢�F���x�������龫��Ӌ��y���ø߃��՚�͝������É��s�՚��ǰ���^�V����
2��SMC AFD΢�F���x���Y(ji��)��(g��u)ԭ��
SMC���F���x�� AFM���F���x��
SMC AFD΢�F���x���cAFMϵ�����F���x���ĽY(ji��)��(g��u)��ƣ�Ҋ��D��
���s�՚���M������Vо��(n��i)��(c��)�����������(c��)��
�������������ĭ���όӱ��������������������������ӵײ��ٱ��ų���.
SMC AFD΢�F���x�����g����(sh��)
ϵ�� AFD20 AFD30 AFD40 AFD40-06
�~������ 120 240 600 600