SMC���_ʽ����Y��,SMC�������
����O���ڴ֌��U�ȣ������Ãɸ������U���Է�ֹ���_���D��
��׸߶�С����ʹ�ô֌��U�����ܳ���ƫ��ؓ�d��
��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С��
����Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um��
��䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g��
��Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��
С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף�
��Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��.

���׵�ؓ�����p�^�죬�؄e�ǿ��ٵĆ��ӡ�ͣ�C�͹��r׃���r�ض�׃����ů�׵ķ�ʽ�����_��ͣ�C�z�ޕr���_���،��^��ȣ��������кͷ��m�Ϯa���ܴ�ğᑪ���͟�׃�Ρ�

�����ڙCе�ӹ����^���л��^�a����a���ˑ��������]�Ќ������M�лػ�̎��������������ʹ���״����^��Ě������������\���Юa����׃�Ρ�

�ڰ��b��z�޵��^���У����ڙz�޹�ˇ�͙z�޼��g��ԭ��ʹ�ȸס����׸��塢�����׼������׵���Û�g϶�����m�����ǒ���������Û�g϶�����m���\�к�a���޴����Û��ʹ����׃�Ρ�

SMC���_ʽ����Y��,SMC�������
SMC CM2��׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ⣬
�����c�����U�É��T朽ӣ�������ĸ��.
���������Ƅӵľ��x���x��SMC��׵��г̣�
�x��˜��г̣�Ҫ���ڹ������ƄӾ��x��
SMC��׶��w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��͵�߀�ڶ��w���O�о��_�C����
�U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ��
�Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ�
�U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ�
���ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����
������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F��
�F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�