�Y������SMC늴��y 3λ�з�ʽ
���c����:
ÿ���y�T���\����ͬ��SUP��EXH�˿�ͨ�^�B�ӵ���ܡ��@�ǵ����á�
��5�������վ�cͬ�r�\�в����Ȍ�������0.2kgf/cm2����󣬽��h�����Ȍ�EXH�˿���ܵ����ģ�PE����U��4����2����D�ȿ���6���˿ڣ����_��
���⣬ʹ�á�AN110-01"�����w�ІT��������EXH
�C��     2λ��늿�
��ʽ     ���w�y
�y�w��С     6
P,Rͨ�ڽӹܿڏ�     �o�װ�
ʹ�É���     0.1 MPa
���ʹ�É���     1.0 MPa
�h���ضȼ�ʹ�����w�ض�     5��60��
ʹ�����w     �՚� / ���Ԛ��w
�o��     ���o��ʽ / ͸ƽ��
푑��r�g     0.025 ms
�p�Ȍ�����|Ƭ��ʹ�����Ѓ����pֹ���y�y�Tʹ���ֹͣ�L�r�g�����е��˄ݟoՓ�yо����Ͳ��
��λ�p�Ȍ������y�������y�Y���ĽY������ͬ�SШ�����ϣ�й©��10 cm3/min��ANR������
�y�T�͚��֮�g�Ĺܵ����Լ����������ʹ�Ùz���Ƿ�й©ʹ��ǰʹ������ϴ�섩��Һ��
���ҙz�������Ϻͻ������b�����й©����׿��ܲ�ͣ�ڛ_�����gλ�ã��Լ��������y�T�P�]�������ƄӔ�늡�
�aƷ��̖:
AM550C-10D
AR50-10G-B  
AMG650-10D
AFF37B-10D
AR50-10E-B  
VS7-6-FG-S-3NA02-Q
IL100-03  
VG342-4G-10A
IL220-N02-L��
AN800-N14  
LEFS16B-200-R36N3
3C- ISG230-030
VF5220-4DZC-03
AWD30-N02BCE-6

�Y������SMC늴��y 3λ�з�ʽ