ԭ�bSMC���͚��  ���⾏�_

SMC���⾏�_�ı��͚���cҺ���׵��B����ʽ���ɷ֞鴮“���c��“�̓ɷN��ǰ�������鴮“�����D42.2-6�鲢“�͚�-Һ����ס���“�͸��w�^�L���ӹ��c���b�r��ͬ�S��Ҫ���^�����Еr�ɸ��g���a���Z��Z�ͬF������“�͸��w�^�����Y���o��������Һ�׷����������a���Z��Z�ͬF������Һ���׹������������ஔ�ߣ�Һ���׿��Ƴ��ஔС��ֱ���������c��׵�ֱ�������������Һ�ɸװ��b�ڲ�ͬ�S���������a�����������������ӌ�܉�b��ĥ�p��Ҳ���ܮa��������"�F������“�͚�-Һ�����߀��Һ������ǰ���ں�֮����Һ�����ں�Ҋ�D42.2-5��Һ���׻����ɶ�������e�����������^������Ҫ���ͻ��a�ͣ��ͱ��^����
SMC���⾏�_�ı��͚����������ͨ�͛_�����ԭ����Ҋ����һ�����������Еr���^�󲿷��������������ڿ˷���������p2������������_���ܛ]�г�����á�����_��һ�_ʼ����׌�ЗUǻ���wȫ�ſգ���ʹ�ЗUǻ����������≺�����t�_���^�������ɹ�ʡ��������������ʹ�_����װl�]�����������ݔ������ě_���ܡ��@�N�ڛ_���^�������ЗUǻ�����ӽ��ڴ�≺���ě_��������Q������͛_���������Y��Ҋ�D42.2-13a��
SMC���⾏�_�ı��͚���w4�ϵĶ�������T��10��������K3ֱ�������������������������A�׺ͷ��׵�ͨ����e�h�h����K3��ͨ����e�������ЗUǻ�ĉ��������ژO�̵ĕr�g�Ƚ��͵��ӽ��ڴ�≺����������һ�������r���������_ʼ�������N�^�ω��K���x�_�г��yF3���ƗU6���y3�ڏ��ɵ�������λ�����ڽ��К���7�͚���8���y3�mȻ��λ����F2�s�ӕr��λ���@�ͱ��C������ǻ�ȵĉ��s�՚��Á����ʹ����Ѹ�����›_���Ĺ�������t����F3��λ��F2ͬ�r��λ��Ԓ������ǻ�ȉ��s�՚�͕����N�^�]���\�ӵ��г̽K�c֮ǰ�ѽ�ͨ�^K4�׺��yF2�Ś��������Ԯ��N�^�_ʼ�_������F2�ď�λ�������ӕr��ʮ���롣�������ӕr�r�g���L���_���כ_���r�g�ֺܶ����������Ú��衢����Ҳ������ֻҪ�yF2�ēQ��r�g�ț_���r�g�L�Ϳ�������
SMC���⾏�_�ı��͚��������ͨ�͛_����׵��²������ˡ����řC��"���ɡ����řC�����ɿ��Ō����w1�����Ÿ��w4�����Ż���3���ܷ��z�|2������M���������͛_����׵Ě�ػ�·Ҋ�D42.2-13b����ͨ��Դ��ͨ�^�yF1ͬ�r��K1��K3�����K2ͨ��⡣�yF1ݔ����A��ֱ���cK1���Bͨ�����Ï����cK3���Bͨ�����ܚ������ֱ�ܚ��衣�@�������s�՚⽛K1ʹ���Ż���3�Ƶ���߅���ɿ��Ż���3�c�ܷ��z�|2һ���Д��ЗUǻ�c�Ś��T��ͨ����Ȼ��K3�����ЗUǻ�M�������һ�o�Uǻ���w��K4��ͨ�^�yF2�Ś⣬�t����������
ԭ�bSMC���͚��  ���⾏�_

SMC���⾏�_�ı��͚�׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ��������c�����U�É��T朽���������ĸ�����w���O���M�Ś�ͨ�����͵�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ�����������ߚ�׵Č��򾫶������ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ�
SMC���⾏�_�ı��͚��Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵ����������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ������Ͳ��ʹ�ò��P����X�Ͻ���S�~�Ȳ��|�� ����
SMC���⾏�_�ı��͚�׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ��������c�����U�É��T朽���������ĸ�� ����
2��SMC���⾏�_�ı��͚�׶��w�����w���O���M�Ś�ͨ�����е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃����U�ȶ��w���O�Ќ�����������ߚ�׵Č��򾫶������ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ���ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵ��� ����
3��SMC���⾏�_�ı��͚�׻����������ǚ���е��܉�����������ֹ�������҃�ǻ�໥�Z�����O�л����ܷ�Ȧ�������ϵ���ĥ�h����ߚ�׵Č��������p�ٻ����ܷ�Ȧ��ĥ�����p��Ħ����������ĥ�h�Lʹ�þ۰��������ķ���ϩ���A���ϳɘ�֬�Ȳ��ϡ������Č������ܷ�Ȧ�ߴ�ͱ�Ҫ�Ļ��Ӳ����L�ȁ�Q�������Ӳ���̫�̣�����������ĥ�p�Ϳ����������IJ��|�����X�Ͻ���T�F��С�͸׵Ļ������S�~�Ƴɵ��� ������
6��SMC���⾏�_�ı��͚�׹����rҪ�����s�՚��е����F�������M�Н�����Ҳ��С�����❙�������
SMC���⾏�_�ı��͚��-����ԭ������׸��������������Ĵ�С���_�������U�ϵ��������������ɴˁ��x���וr��ʹ��׵�ݔ�����������������׏��xС�ˣ�ݔ������������ײ����������������׏��^�������Hʹ�O�䱿�����ɱ�����ͬ�r�Ě��������������Դ���M���ڊA���OӋ�r�����M�����������C�����Ԝp�ٚ�׵ijߴ硣