�ձ�SMC���ɰ��b�͚�װ��b����

�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚���и��w�̶��ͻ����U�̶��ɷN�����w�̶��r���������d�ɣ��繤���_���c��׃ɻ����U�B��һ�w�����s�՚������M���׃�ǻ��һǻ�M����һǻ�Ś⣩�������U���ӹ����_�����\�ӣ������_�\�ӷ�����������Ч�г�s��3�������b��ռ���g��һ������С���O���ϻ����U�̶��r�����·�B�ӷ��㣬�����U�Ƴɿ��ģ����w�c�d�ɣ������_���B��һ�w�����s�՚�Ŀ��Ļ����U����˻��Ҷ��M���׃�ǻ��ʹ���w���ӹ����_����������\�ӣ������_���\�ӷ���������Ч�г�s��2�����m�����С������O�䡣 2 �p�����U�����ɶ˻����Uֱ����ȣ��ʻ����ɂ�������e��ȡ�
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚��ǻ�ȉ���p30���J�����_��Դ����ps��ͬ�r���ݷe��С�ğo�Uǻ�������h�ο��gC��ͨ�^�Ś��3�c�����ͨ���ʟo�Uǻ����p10���ڴ�≺��pa������pa/ps�����R�牺����0.528�����Ի����_ʼ�ƄӺ���zuiС��ͨ����̎��������c����֮�g�ĭh���棩��•�����ӣ�ʹ�o�Uǻ�����������ӣ�ֱ���c����ǻ�ȉ���ƽ�⡣ԓƽ�≺���Ե��ښ�Դ���������Ͽ��ԷQ��_���ε�I�^�Ρ�I�^�ε����Õr�g�O�̣�ֻ�Ў׺��룩����I�^�Σ��ЗUǻ����׃����С����I�^��ĩ���o�Uǻ����p1�������ڻ���ȫ��e�ϣ����ЗUǻ����p2�������ڻ����U�ȵĭh����e�ϣ���ö࣬�������@�Ӵ�ĉ����������£��@�úܸߵ��\�Ӽ��ٶȣ�ʹ���������\�ӣ����M�Л_����
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�׌��ڽӽ��г�ĩ�˕r�ٶ��^�ߵĚ�ף�����ȡ��Ҫ��ʩ�������͕��Ժܴ������������ײ�����w��������Ӻ͓p�ęC��������ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_���F���ښ�׃ɶ˼��O���_�b�ã�һ��Q�龏�_��ס��乤��ԭ���ǣ��������ډ��s�՚��Ƅ��������\�ӕr������ǻ�Ě��w��������4�����w�ϵĚ��8�ų����ڻ����\�ӽӽ��г�ĩ�˕r�������҂ȵľ��_����3��������4�����������^�m�����\�ӕr�����ښ����ǻ�ȵ�ʣ�����w�����s��������ͨ�^�����y6�����8�ų��������s�Ě��w���a���ĉ���������c�����\�������е�ȫ��������ƽ�⣬����ȡ�þ��_Ч����ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_����
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�׵A�ϰlչ������һ�N���͚�ӈ���Ԫ���� �≺�����c��������ͳɱ����Ԅӻ��ֶΣ��õ�����V���đ��á��S��������ĔUչ�����͚��Ԫ���ӳ����F������ǚ≺�����c����ϵ�y��ʹ��zui�V����һ�N���≺���D׃��Cе�ܵĈ���Ԫ���������ώ��л����U�Ě�ף����Q�ЗU��ף����ў��˂�����֪���õ��V������[1][2]��Ȼ�������ڟo�����U��ף����Q�o�U��ף��@�N����lչ���������͚�ӈ���Ԫ���t�˽ⲻ�ࡣ�c�ЗU�����ȣ��o�U��׾��й�ʡ��ʡ���b���g��*���c�����ڸ�Cе�b���Ԅӻ��еđ�����څ�V�����������ЗU��׵Ĵ󲿷֑����������چ�����򡣺��o�Ɇ���ÿ���Cе���̎����OӋ����������Ϥ�ЗU��׻�Һ�����ǘ��˽�o�U��ף��Ա��ڙCе�OӋ���،�����Ԫ�����x�񷶇���ʹ��ϵ�y���x�ú��OӋ���������
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�׵ĵĹ���ԭ��һ��,ֻ���ⲿ�B�ӡ��ܷ���ʽ��ͬ��׃�߅���ǿ��ĵ�,�����U�ȵ������F���ӻ����U�����һ�����w���\�Ӳ�����,�����f���������坍��Ҫ���U�ߵ�,�҂���˾�Ĵ�ż�ğo�U��׽���Ҫ����������ϴ,�����c���Ĺ����h�����P�ɡ�����ͨ�^�������Ӹ��w�ⲿ���Ƅ��w��ͬ���Ƅӡ����Ĺ���ԭ�����ڻ����ϰ��bһ�M�ߏ����Ե�*�ŭh��������ͨ�^���ڸ�Ͳ�c�����������һ�M�ŭh���ã����ڃɽM�ŭh�����෴�����к܏����������������ڸ�Ͳ�ȱ��≺�Ƅӕr���t�ڴ��������£����Ӹ�Ͳ��Ĵŭh��һ���Ƅӡ���׻�������������c�ŭh���������m����
�ձ�SMC���ɰ��b�͚�װ��b����

�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�׷N�:�≺�����Ќ����s���w�ĉ������D�Q��Cе�ܵĚ�ӈ���Ԫ���������������ֱ���\�ӵĺ������͔[�ӵă��������ֱ���\�ӵĚ���ֿɷ֞�����á��p���á�ĤƬʽ�͛_����� 4�N���ن����Ú�ף��Hһ���л����U���Ļ���һ�ȹ�����ܮa���≺���≺�Ƅӻ����a����������������ɻ����ط��ء����p���Ú�ף��Ļ����ɂȽ��湩�⣬��һ����ɂ�����ݔ��������ĤƬʽ��ף���ĤƬ���������ֻ��һ������ݔ�������Ï��ɏ�λ�������ܷ�ã����г̶̡��ܛ_����ף��@��һ�N����Ԫ�������щ��s���w�ĉ������D�Q��������٣�10��20�ף��룩�\�ӵĄ��ܣ������������_����������ˎ��Ї��ں�й���ڵ����w�����w�ͻ����њ�׷ֳɃ���ǻ���^ǻ��βǻ���ҡ����V���������ϡ��_�ס�����ͳ��͵ȶ�N���I��
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�����ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M�ɣ���Ȳ��Y�����ձ�SMCС�����ɰ��b�͚��ԭ����Ͳ ��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|���ձ�SMCС�����ɰ��b�͚�׻����ϲ��ýM���ܷ�Ȧ���F�p���ܷ⣬�����c�����U�É��T朽ӣ�������ĸ�����w ���w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚����ǻ�Ě��w��������4�����w�ϵĚ��8�ų����ڻ����\�ӽӽ��г�ĩ�˕r�������҂ȵľ��_����3��������4�����������^�m�����\�ӕr�����ښ����ǻ�ȵ�ʣ�����w�����s��������ͨ�^�����y6�����8�ų��������s�Ě��w���a���ĉ���������c�����\�������е�ȫ��������ƽ�⣬����ȡ�þ��_Ч����ʹ�������г�ĩ���\��ƽ�������a���_�����{�������y6�y���_�ȵĴ�С�����ɿ����Ś����Ķ��٣��Ķ��Q���˱����s�ݷe���Q���_�ң��ȉ����Ĵ�С�����{�����_Ч����������������\�ӕr���Ě��8ݔ�뉺�s�՚⣬��ֱ����_�����y5���Ƅӻ��������\�ӡ��繝���y6�y���_�ȹ̶��������{�������Q�鲻���{���_��ס�
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚������M��������ȡ�L�a�̣����ɞ���ϵ�y���ձ���õĚ�-Һ����ס���-Һ����׹���ԭ��Ҋ�D42.2-5�����H�ǚ���cҺ���״�“���ɣ��ɻ����̶���ͬһ�����U�ϡ�Һ���ײ��ñù��ͣ�ֻҪ��M�ͼ��ɣ����M�����g�b��Һ�������y�������y���a�ͱ���������Ҷ˹���r����׿˷��d�Ɏ���Һ���׻��������\�ӣ��������Ś⣩���˕rҺ����������ͣ������y�P�]����ֻ��ͨ�^�����y����Һ������ǻ���ͱ��ȣ��@�r�􌢹����y�y���_�󣬄tҺ������ǻ����ͨ�����ɻ����\���ٶȾͿ죬��֮���􌢹����y�y���PС��Һ������ǻ�������裬�ɻ����\���ٶȕ��p�����@�ӣ��{�������y�_�ڴ�С�����ܿ��ƻ������\���ٶȡ����Կ�������Һ����׵�ݔ�������ǚ���Љ��s�՚�a���������������������cҺ�������͵�������֮�
�ձ�SMCС�����ɰ��b�͚��ָ��ǻ���Էքeݔ�뉺�s�՚⣬���F�p���\�ӵĚ�ס���Y���ɷ֞��p�����Uʽ���λ����Uʽ���p����ʽ�����_ʽ�ͷǾ��_ʽ�ȡ�����ʹ�á� 1���p�����U�p���Ú���p�����U����и��w�̶��ͻ����U�̶��ɷN���乤��ԭ�������w�̶��r���������d�ɣ��繤���_���c��׃ɻ����U�B��һ�w�����s�՚������M���׃�ǻ��һǻ�M����һǻ�Ś⣩�������U���ӹ����_�����\�ӣ������_�\�ӷ�����������Ч�г�s��3����