ʹ��SMC��ˮ����ߚ���x�ͅ���
SMC��ˮ����ߚ�׶��w���O���M�Ś�ͨ�ڣ��е�߀�ڶ��w���O�о��_�C�����U�ȶ��w���O���ܷ�Ȧ�ͷ��mȦ���Է�ֹ�Ļ����U̎����©��ͷ�ֹ�ⲿ�҉m����׃ȡ��U�ȶ��w���O�Ќ����ף�����ߚ�׵Č��򾫶ȣ����ܻ����U�������ęM��ؓ�d���pС�����U����r�����������L���ʹ�É�����������ͨ��ʹ�ß��Y���ͺϽ�ǰ�A�~�T�������w�^ȥ���ÿ���T�F���F�ڞ�p�p���������P����ʹ���X�Ͻ����T��΢�͸���ʹ���S�~���ϵġ� ������Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|�� ����SMC ������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ� �M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�*��ͨ����ײ��õĹ������|�lj��s�՚⣬�����c�DŽ����죬���ٶȲ��׿��ƣ����d��׃���^��r�����׮a��������"������"�F��
SMC��ˮ����ߚ�׻��_�Ƅӷ���SMC��Ӽ��g��Ӗ�̳̌����ͻ��_֮�g�o���滬�_�����_�P������ʯ�������b����MY1M��MY1Cϵ�еĸ��w�ϣ��O�д����_�P�������b�ϣ��ɷ�ֹ�����c���_�໥�ɔ_���_��ϵ�y�İ�ȫ�ɿ���ϵ�еİ��b�ߴ�Ϳ��x���л��Q��MY1M��MY1Cϵ��֮�g�����w�������İ��b�ߴ��л��Q�ԡ��г��{����Ԫ�������_�P�ȿ��x�����ɹ��á��������(ʹ�Ï��^ʽ�ٶȿ����y)�������(ʹ��ֱͨʽ�ٶȿ����y)�������O��Ȧ(ʹ�Ï��^ʽ�ٶȿ����y)�������(ʹ��ֱͨʽ�ٶȿ����y)���������ܵĹ��ӌ�Һ�����_������λ���һ�w�����г��{����Ԫ���{���г�Һ�����_�����pؓ�d�ú���ؓ�d�ÃɷN�������İ��b�ԡ�ʡ���g�����氲�b�����氲�b�x����̖��ʾ���������ͻ����͸׏������ʽ�˜��ͼ�������ʹ����_�P�ķN��г��г��{����Ԫӛ̖�г��{����ԪSMC��Ӽ��g��Ӗ�̳��x��1.2.�������򾫶ȡ�zui�����Sؓ�d��zui�����S�����x���o�U��׵�ϵ�к͸׏���
SMC��ˮ����ߚ��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ��ӣ���Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵġ��������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|�� ����SMC ������O���_�b�÷Nܶ࣬����ֻ������֮һ����ȻҲ�����ښ�ӻ�·�ϲ�ȡ��ʩ���_�����_Ŀ�ġ� �M�ϽM�Ϛ��һ��ָ����cҺ������M���γɵĚ�-Һ����ס���-Һ�����׵ȡ�*��ͨ����ײ��õĹ������|�lj��s�՚⣬�����c�DŽ����죬���ٶȲ��׿��ƣ����d��׃���^��r�����׮a��������"������"�F�󣻶�Һ���ײ��õĹ������|��ͨ���J�鲻�ɉ��s��Һ���ͣ������c�DŽ��������׿죬���ٶ����ڿ��ƣ����d��׃���^��r�����ô�ʩ�î���һ�㲻���a��������"�͡�����"�F�󡣰њ���cҺ��������M��������ȡ�L�a�̣����ɞ���ϵ�y���ձ���õĚ�-Һ����ס���-Һ����׹���ԭ��Ҋ�D42.2-5��
SMC��ˮ����ߚ��������ĩ���ۉm������Һ�@�ӵĭh����ʹ�Õr��Ҫ�ӷ��o�֡���Ҫ���ڸ��g�ԭh�������_�龫���S�У����b�����r����Ҫ�o�菊�қ_�����^�����ء�SMC��Ӽ��g��Ӗ�̴̳���ż��ʽ�o�U��׾��ȸ�6��10��15��20��25��32��40��50��63610��1520��2532��4050��6310203250CY1HTϵ��ϵ��CY1Hϵ��ϵ��CY1Lϵ��ϵ��CY1Sϵ��ϵ���c�ŭh�Y�ϵĚ��ʡ���g���к܏V�đ��÷����������Sؓ�d��SMC��Ӽ��g��Ӗ�̳�CY1Rϵ��ϵ��CY1Bϵ��ϵ�и��Nϵ�м������L���ڛ]����й©�����ԑ����ڸ��N��ͬ�Ĉ��ϡ�������ֱ�Ӱ��b��CY1Rϵ�к͸߾��Ȍ�܉��CY1H�ͣ�ʹ�÷������˺ܴ���ߡ���
ʹ��SMC��ˮ����ߚ���x�ͅ���
CJ1ϵ��΢�͚�� CJPϵ����Κ�� CJ2ϵ���p���Ú��
CM2ϵ���p���Ú�� CG1ϵ���p���Ú�� MBϵ���p���Ú��
MB1ϵ���p���Ú�� CA2ϵ���p���Ú�� CS1ϵ���p���Ú��
ISO�˜ʚWҎ���
SMC�o���͘˜ʚ��
CUJϵ��С�����ɰ��b��� CUϵ�����ɰ��b��� CQSϵ�б��͚��
CQ2ϵ�б��͚�� CQMϵ�б��͚�� RQϵ�о��_�ͱ��͚��
MUϵ��ƽ���͙E�A�������
SMC���_���
MXHϵ��С�͚�ӻ��_ MXUϵ��С�͚�ӻ��_ MXSϵ�К�ӻ��_
MXQϵ�К�ӻ��_ MXFϵ�б��͚�ӻ��_ MXWϵ�К�ӻ��_
MXPϵ�К�ӻ��_ MXYϵ�К�ӻ��_ MTSϵ�о��ܚ��
SMC�o�U���
MY1ϵ�ЙCе���ʽ�o�U��U MY2ϵ�ЙCе���ʽ�o�U��� MY3ϵ�ЙCе���ʽ�o�U��U
CY1ϵ�д����ʽ�o�U��� CY3ϵ�д����ʽ�o�U��� CYPϵ�Н������ßo�U���
CYVϵ������ßo�U���
SMC���U���
MGPϵ�Ў����U���͚�� MGQϵ�Ў����U���͚�� MGGϵ�Ў����U���
MGCϵ�Ў����U��� MGFϵ��ƽ�_ʽ��� MGTϵ�л��Dƽ�_���
MGZϵ�б������ CXWϵ�л��ӆ�Ԫ CXTϵ�л��_�͚��
CXSJϵ�оo�����p“��� CXSϵ���p“���
SMC�i�o���
CLϵ���i�o��� MLGCϵ�Ў����U�i�o��� CNGϵ���i�o���
MNBϵ���i�o��� CNAϵ���i�o��� CNSϵ���i�o���
CLSϵ���i�o��� CLQϵ�б����i�o��� MLGPϵ�Ў����U�����i�o���
RLQϵ�К⾏�_�����i�o��� MLUϵ��ƽ��ʽ�i�o��� ML1Cϵ�и߾��ȟo�U���
SMC������
REAϵ�����ҟo�U��� REBϵ�����ҟo�U��� RECϵ�����Қ��
C_2Xϵ�е��ٚ�� C_2Yϵ��ƽ���\�К�� MQϵ�е�Ħ�����
RHCϵ�и��ٚ�� MKϵ�л��D�A�o��� RSϵ��������
RZQϵ��3λ�Ú�� MIϵ�����Ϛ�צ �г̿��x���
C_5-Sϵ�в��P䓚�� CVϵ�Ў��y��� MVGQϵ�Ў��y�����U���
SMC�[�Ӛ��
CRB2ϵ�Д[�Ӛ�� CRBU2ϵ�����ɰ��b�͔[�Ӛ�� CQB1ϵ�Д[�Ӛ��
MSUϵ�Д[�Ӛ�� CRJϵ��С�͔[�Ӛ�� CRA1ϵ�Д[�Ӛ��
CRQ2ϵ�б��͔[�Ӛ�� MSQϵ�Д[�Ӛ�� MRQϵ����[���