�͙M��ؓ�d�ı��͚��SMC�x��Ҫ�c

���܅���:

���̎���oֹ��B���ğo�U�Ⱥ��ЗU�Ƚ���ݔ��ʹ�É�����ʹ�É������Ļ���̎���Q���й¶���������U�͹ܽ��^̎���Q����й©����й©�����Q��й©����

��׵�й©������С��JIS B 837�˜�Ҏ����ָ������й©���ô���3±0.15dmL/min��ANR������й©�����ô���3±0.15DmL/min��ANR����ʽ�У��׏�D�͗U��d����mmӋ��

��ʡ���g������������b�þo�����OӋ

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ�������Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹��⣬߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵ����������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ������Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

�����4�氲�bС�ʹ����_�P ( Φ12��Φ25���ǃ���)

������_�P��ͻ������

���͚�������������������M��ֱ�������\�ӵĈAͲ�ν��ٙC�������|�ڰl�әC�����ͨ�^��Û�������D����Cе��;���w�ډ��s�C����н��ܻ������s����߉������u݆�C�����D����ʽ�l�әC�ȵĚ��wͨ��Ҳ�Q"���"��

���͚��ռ���gλ���٣��Y���p�ɣ��������^���ܳ����^��ęM��ؓ�d���o�谲�b������ֱ�Ӱ��b�ڸ��N�A�ߺ͌����O������

���͚�׵ĽY��:�ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M�ɡ�

���͚�������нY���o���������p��ռ�ÿ��gС�ȃ��c��

����׷���p���h����С���_����

���|�����p��5%��13%(����ǰ��CQ2ϵ�����)

���b�ݽzͬ�����O���˗U�˰��b������̖

���͚�׵�����:�����s�՚�ĉ������D�Q��Cе�����әC����ֱ�������\�ӡ��[�Ӻ����D�\�ӡ�

�͙M��ؓ�d�ı��͚��SMC�x��Ҫ�c