����y��������IFM���b�

OGDϵ�Ђ������Ĝy�ྫ���_�����׼������|�����Ƶȑ����ж�λ��z�y���w���������֡�����Ҳ���ṩ������ֵ�����ڷ֒��΄��е��R�e����ȫ��OGDϵ�ЮaƷ�đ��÷dz��V�����oՓ�ǰ��\���g���C���ˡ��b���Ԅӻ���ݔ�ͼ��g���������������Խ�Q�Ԅӻ����P���κΆ��}��

������ͨ�^PMD ���g�y�����x��ԓ���gʹ�������CMOS ������Ҫ�ɿ��ö�Ĺ��w�Еr�g�����M�Мy�����������ڙz�y�����ʵ͵Ĺ������ɫ����r��ԓ���������g�������@����ʹ��OGD���������ܙz�y���@�N���w�r��ʹ��CMOS�������s�o���ṩ�z�y�Y����

ͨ�^PMD ���g����ʹ���ٻ������K�ȶ�ɫ���wҲ�ܱ��ɿ��ؙz�y��

�������ƹ��ܺͼ��⼼�gʹ�� OGD��������ʹ�ܵ��ƄӺͷ�����ⲿ�ɔ_Ҳ�dz��ɿ���

ԓ��������ʹ�ڵČ��ʽǶ���Ҳ�ܙz�y�����w�������ǜy������������c���w�� 90�� �nj��ʲ��ܙz�y�����w��

�ɿ��Ĺ�W���x�y��

2 ���_�Pݔ�����Ɍ�����һ�����̞�ģ�Mݔ��

���{���Ĝy�������ʹ��ڹ���

�m�����豳�����ƹ��ܵđ���

��߸߶�ֵ[mm]6

���c�ߴ煢��3,5 m

�������[[m]0...4

�y������[m]0.2...3.5; (��ɫ�⻬����)

�y���l��[Hz]1...50; (�A�O: 5)

���б���������OGD���������е���һ�����������ڂ��͎�ĩ�ˌ�ʩֹͣ���ܕr���������ƾͷdz����ã���ʹ�ý���݁�ķ��䲻��Ӱ푂�������OGD������߀�ܿɿ��ؙz�y���в�ͬ�ɫ�����w���ڴˑ����������_�P�c���|�l���͎��p�٣��������w���_�ڶ����_�P�c�r�����͎��͕�ֹͣ������PMD���g�h���ڂ��y�������伤���������t���������������z�y�������ܽǶȺ��ɫӰ�����˼�ʹ���W�����ٱ�����y�ԙz�y�����wҲ�əz�y���������M�����ɿ����ھ��|���z�������ڱO�y��С�W��������ͷ����ʲ�������O �έh���X݆�ȣ������_λ�úͷ���

��ʹ�ڲ����������l������OGD������Ҳ�ܿɿ��ؙz�y���w���������������^������ϻ����ֲڵIJ��ϣ��粭�������@Щ����ͨ���в�ɫ����ɫ�OӋ��

������׵��\���ٶȼ��Կ��ƣ����õķ�����ʹ�Æ��� ���y�팍�F�� �������y���Ɇ����y�͹����y��“���ɵ����������y�� �����ڿ��ƚ�׵��\���ٶȣ� ����Ҳ�Q���ٶȿ����y��  ��������Ԫ��ʹ�õ�IFM���������ǽӽ�IFM��������������IFM�����������ӽ������w ���е��������ԁ��R�e���w�Ľӽ�����ݔ�������_�P��̖����ˣ��ӽ�IFM������ͨ��Ҳ�Q��� ���_�P�� �ӽ�IFM�������ж�N�z�y��ʽ����������늴ŸБ�����ęz�y����Ľ����w�Юa���Ĝu ����ķ�ʽ�� ��׽�z�y�w�Ľӽ������늚���̖������׃���ķ�ʽ�� ���ô�ʯ�������_�P�� ��ʽ�����ù��Ч���͹���D�Q��������z�yԪ���ȵȡ� 

����y��������IFM���b�