�x�͔�(sh��)��(j��)SMC�����_(k��i)�P(gu��n) �@ʾһ�w��

���܅���(sh��):

�~����������(��������)100.2��10(5)L/min

�����{(di��o)��(ji��)�y-�o(w��)

�ӹܿڏ�C6Φ6��Q���^

����ʽ�����_(k��i)�P(gu��n)�İ��bλ��һ�㰲�b��ˮ�ó�ˮ�ڵ��O(sh��)���ˮ�ڵ��@�ι�·�У���ò�Ҫ���b��ˮ�õ�����ڵĹ�·�ϣ��@������ʹˮ�ßo(w��)��������ˮ��ˮ���_(k��i)�P(gu��n)Ҳ�o(w��)�����_(k��i)����(du��)���@�c(di��n)��Ҫ�؄eע�⡣����ʽ�����_(k��i)�P(gu��n)���Sˮƽ����(d��o)���������ϣ��ʹ�ֱ���b��

�����������L����

ݔ��Ҏ(gu��)��FPNP(1ݔ��)+ģ�Mݔ��(4-20mA)

��λҎ(gu��)��MSI��λ�̶�

����(j��)ԭ���IJ�ͬ�֞�C(j��)е��ʽ�͸Б�(y��ng)��ʽ���Լ��ʽ���C(j��)е��ʽ�������_(k��i)�P(gu��n)�������o�ܵ����������ķ�ʽ��(l��i)�@�Ä�(d��ng)������(l��i)�Ƅ�(d��ng)��Ӱ푣����P(gu��n)���_(k��i)�P(gu��n)Ԫ�����M(j��n)����(sh��)�F(xi��n)�z�y(c��)�^(gu��)�̡��Б�(y��ng)��ʽ�������_(k��i)�P(gu��n)��ָ��ʽ�����_(k��i)�P(gu��n)����ʽ�����_(k��i)�P(gu��n)�����ß���ز��ԭ���(l��i)�z�y(c��)�ܵ����ٵ�

�ɱ�������ĤƬ�ϵ��԰׽�Ĥ�ӟ���(Rh)�����Č�(du��)�Q���õ�������(c��)������(Ru)��������(c��)������(Rd)�Լ�������w�y(c��)���õĭh(hu��n)���ضȂ�����(Ra)����(g��u)���˱�MEMS������оƬ��ԭ�����҈D��ʾ����(a)���w�oֹ?f��n)�B(t��i)����Rh�����ı��ӟ���w�Ĝضȷֲ�������B(t��i)��Ru��Rd��ʾ��ͬ�����ֵ������.(b)���w���҂�(c��)����(d��ng)�Ĉ�(ch��ng)�ϣ����ӟ���w�Ĝضȷֲ�ƽ�ⱻ�Ɖģ��cRu���Rd�����ֵ׃��

����Ru��Rd���ֵ�IJ��c����(d��ng)���w���ٳɱ�����ͨ�^(gu��)�y(c��)�������ֵ���M(j��n)������̎�������Եó����w������(d��ng)��������١�

Ra������w�ĜضȻ�h(hu��n)���ضȵ��a(b��)��ʹ�á�

�x�͔�(sh��)��(j��)SMC�����_(k��i)�P(gu��n) �@ʾһ�w��