SMC���͚�� �ΗU�p����Ҏ��D��

���͚��ռ���gλ���٣��Y���p�����������^���ܳ����^��ęM��ؓ�d���o�谲�b������ֱ�Ӱ��b�ڸ��N�A�ߺ͌����O������

�≺�����Ќ����s���w�ĉ������D�Q��Cе �ܵĚ�ӈ���Ԫ���������������ֱ���\�ӵĺ������͔[�ӃɷN���(Ҋ�D)��������ֱ���\�ӵĚ���ֿɷ֞�����Ú�ס��p���Ú����ĤƬʽ��׺͛_�����4�N��

�����Ú��:�Hһ���л����U���Ļ���һ�ȹ�����ܮa���≺���≺�Ƅӻ����a����������������ɻ����ط�����

�p���Ú��:�Ļ����ɂȽ��湩������һ����ɂ�����ݔ������

ĤƬʽ���:��ĤƬ���������ֻ��һ������ݔ�������Ï��ɏ�λ�������ܷ����ܺ������г̶���

���͚�׵�����:�����s�՚�ĉ������D�Q��Cе�����әC����ֱ�������\�����[�Ӻ����D�\����

��Ͳ�ăȏ���С�����˚��ݔ�����Ĵ�С������Ҫ�ڸ�Ͳ����ƽ�������ͻ�������Ͳ�ȱ���ı���ֲڶȑ��_��Ra0.8um����䓹ܸ�Ͳ���ȱ���߀���Ӳ�t���ԜpСĦ��������ĥ�p�����ܷ�ֹ�P�g����Ͳ���|��ʹ�ø�̼䓹�����߀���øߏ����X�Ͻ���S�~��С�͚����ʹ�ò��P䓹ܵ����������_�P�Ě�׻����͸��g�h����ʹ�õĚ�ף���Ͳ��ʹ�ò��P䓡��X�Ͻ���S�~�Ȳ��|��

���͚�׵ĽY��:�ɸ�Ͳ�����w�������������U���ܷ���M����

��ʡ���g��ף����Ρ��b�þo�����OӋ

�����4�氲�bС�ʹ����_�P ( Φ12��Φ25���ǃ���)

������_�P��ͻ������

����׷���p���h����С���_����

���|�����p��5%��13%(����ǰ��CQ2ϵ�����)

���b�ݽzͬ�����O���˗U�˰��b������̖SMC���͚�� �ΗU�p����Ҏ��D��