
�a(ch��n)Ʒ���
Products�a(ch��n)Ʒ����/ PRODUCTS
SMC�p���y���c(di��n),SMC�Y(ji��)��(g��u)��; 3λ3ͨ�p늿��y���S�������������Ɖĺ�ͣЪ(���P(gu��n)�])���m�Ϙ�(g��u)��ͬһ��·��ʹ�ö���(g��)�y��ϵ�y(t��ng)���� ���з�ʽ2(A)ͨ�ڱ�����յĈ�(ch��ng)�ϣ����ڏ�������P����ܵ�̎©��.Ҫע����նȵĽ���,���������λ���Ƿ����^�m(x��)���������߀�в��������o���Д��y��
SMC�p늿�늴��y��̖(h��o),SMC�x�ͅ���(sh��) ��(d��o)��������ʽLOL�Ͳ���ʽ�o���^ LED���^늉����o(h��)��·U��ָʾ��·�^늉����o(h��)��·(�o�O��) �ք�(d��ng)����-���i���Ɖ�ʽ A·B�ӹܿڏ�C4Φ4 ��Q���^
SYϵ��SMCֱ��(d��ng)ʽ늴��y���܅���(sh��) �ܸ�׃���w����(d��ng)�����ͨ��Ŀ����y�Q�鷽������y��������һ���M(j��n)����������һ���Ś����ٷ��^��������һ���M(j��n)�⣬һ���Ś����@�N����(d��ng)����ĸ�׃������Ҫʹ�÷�������y��
SMC늴��y 5ͨ�Ȍ�(d��o)ʽҎ(gu��)��(sh��) �yо�Ĺ���λ�ú�(ji��n)�Q��λ�����yо�Ўׂ�(g��)����λ�õ��y���ǎ�λ�y���Ѓɂ�(g��)ͨ�ڵĶ�λ�y�Q���λ��ͨ�y�����Ԍ�(sh��)�F(xi��n)��·��ͨ��ࡣ������(g��)ͨ�ڵĶ�λ�y�Q���λ��ͨ�y����λ�y������(g��)����λ����
SMC3ͨ늴��y,SMCʹ�Å���(sh��) �yо�Ĺ���λ�ú�(ji��n)�Q��λ�����yо�Ўׂ�(g��)����λ�õ��y���ǎ�λ�y���Ѓɂ�(g��)ͨ�ڵĶ�λ�y�Q���λ��ͨ�y�����Ԍ�(sh��)�F(xi��n)��·��ͨ�����������(g��)ͨ�ڵĶ�λ�y�Q���λ��ͨ�y����λ�y������(g��)����λ����
SMC�Ȍ�(d��o)ʽ늴��y,SMC���܅���(sh��) ��λ�p�Ȍ�(d��o)�����y�������y�Y(ji��)��(g��u)�ĽY(ji��)������ͬ�SШ�����ϣ�й©��10 cm3/min��ANR������ �y�T�͚��֮�g�Ĺܵ����Լ����������ʹ�Ùz���Ƿ�й©ʹ��ǰʹ������ϴ�섩��Һ�� ���ҙz�������Ϻͻ������b�����й©������ܲ�ͣ�ڛ_�����gλ�����Լ��������y�T�P(gu��n)�]�������Ƅ�(d��ng)���
�Y(ji��)��(g��u)����SMC늴��y 3λ�з�ʽ 늴��y����늴ž�Ȧ�ʹ�о�M�����ǰ���һ��(g��)��ׂ�(g��)���y�w����(d��ng)��Ȧͨ늻��늕r(sh��)����о���\(y��n)�D(zhu��n)����(d��o)�����wͨ�^�y�w���Д������_(d��)����׃���w�����Ŀ����
�m�÷���SMC5ͨ�Ȍ�(d��o)ʽ늴��y 늴��y��Ȧ�������ɲ���늴��y�ĽӾ������f�ñ�y(c��)��������_·���t늴��y��Ȧ������ԭ���о�Ȧ�ܳ�������^�����ö�©������ɾ�Ȧ��(n��i)����^������������Ҫ��ֹ��ˮ�M(j��n)��늴��y�������������^Ӳ�����������^��Ȧ�є�(sh��)̫��
IL100ϵ��SMC�����^��(d��ng)���x�� ͨ���c���(d��ng)��Ĥʽ����(d��ng)����ʽ��(zh��)�ЙC(j��)��(g��u)����ʹ��������Ч��Q��(d��ng)�x���h(yu��n)���x���͉�����̖(h��o)�����(zh��)�ЙC(j��)��(g��u)���ҵ������ܴ�r(sh��)�����ڂ��f�r(sh��)�g����(d��o)�µĈ�(zh��)�ЙC(j��)��(g��u)푑�(y��ng)�r(sh��)�g�L(zh��ng)�Ć��}���Ķ���߈�(zh��)�ЙC(j��)��(g��u)��푑�(y��ng)������
SMC�Ȍ�(d��o)ʽ늴��yVQZ3120-5G1-02���� e��5ͨ�Ȍ�(d��o)ʽ늴��y/�����ܷ� ϵ�У�SY3000-9000ϵ��/ֱ������� ��̖(h��o)��SY7220-5DZD-02